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SKC, 반도체용 하이엔드급 블랭크마스크 연내 양산 개시

KC, 반도체용 하이엔드급 블랭크마스크 연내 양산 개시

- 정승일 차관, SKC를 방문하여 소부장 정책 성과 가속화 강조 -

□ SKC는 일본 의존도가 90% 이상인 ArF용 등 하이엔드급 블랭크 마스크(Blank Mask)* 시제품을 현재 국내 수요기업과 테스트 중에 있으며, 하반기 본격 양산 예정이라고 밝혔다.

* 회로 패턴을 그리기 전 포토마스크 원판(석영유리에 금속막, 감광막 등을 도포하여 제조)

- 블랭크마스크는 반응시키는 빛의 파장에 따라 KrF(불화크립톤, 248nm), ArF(불화아르곤, 193nm), EUV(극자외선, 13.5nm)용으로 구분, 통상 ArF와 EUV가 하이엔드급

ㅇ 반도체 공정의 핵심소재인 블랭크마스크가 양산 되면, 국내 공급안정성이 개선될 전망이다.

* 블랭크마스크는 對일본 수입 상위 20대 핵심 소부장 품목에 해당됨

ㅇ SKC는 ‘18.부터 총 430억원을 투자하여 블랭크마스크 신규공장을 ’19년 말 완공한 바 있으며, 금번 양산 품목보다 첨단제품을 ’21. 양산 목표로 개발중이다. (‘19년 추경 예산으로 기술개발 중)

□ 정승일 산업통상자원부 차관은 4월 20일(월) 오전 SKC의 블랭크마스크 공장(천안)에 방문하여 소부장 정책성과 가속화를 강조하였다.

	【 현장방문 개요 】

▪ 일시/장소 : ’20.4.20(월) 11:00∼12:00 / SKC 블랭크마스크 공장(천안) ▪ 참석자 : (산업부) 차관, 반도체디스플레이과장 등 (SKC) 이용선 부사장 등 임직원 ▪ 내용 : 블랭크마스크 등 소부장 국내 생산현장 점검 및 소부장 정책 성과 제고를 위한 기업 현장애로 의견수렴 등

ㅇ 정 차관은 먼저 SKC의 블랭크마스크 국산화를 위한 임직원의 노고에 감사함을 표명하며, 그간 정부의 소부장 정책 성과를 밝혔다.

- 20대 품목은 ‘21년 공급안정성 확보 목표로 국내생산 확대, 기술개발(’19년 추경 650억원, ‘20년 1,165억원), 수입국 다변화 등을 계획대로 추진중에 있으며,

- 특히, 일본의 수출규제 3개 품목은 공장 신증설, 외투기업 투자 등으로 금년 중 완전한 공급안정화를 달성할 계획임을 밝혔다.

품 목		국 내 생 산	수입국 다변화
불화수소	불산액	▪(솔브레인) 공장 신증설 및 생산 투입 * 생산능력을 신증설 이전 대비 2배 확대	▪중국산 등 생산 투입
불화수소	불화수소